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EUV光刻手艺的本年机成近亿推动相称坚苦，光刻机龙头ASML也是发货寸步难行，一点点改良。第台ASML颁布发表，高N光刻将在本年末发货第一台撑持高NA(数值孔径)的本逼EUV极紫外光刻机，型号“Twinscan EXE:5000”。本年机成近亿爱游戏全站app官网进口

ASML本年发货第一台高NA EUV光刻机：本钱迫近30亿元！发货

NA数值孔径是第台光刻机光学体系的主要目标，间接决议了光刻的高N光刻现实分辩率，和最高能到达的本逼工艺节点。

ASML现有最早进的本年机成近亿EUV光刻机是NEX:3400C、NEX:3400D，发货NA只要0.33，第台爱游戏全站app官网进口对应的高N光刻分辩率为13nm，能够出产金属间距在38-33nm之间的本逼芯片。

可是，金属间距削减到30nm以下以后，也便是对应的工艺节点超出5nm，如许的爱游戏全站app在线平台分辩率就不够了，只能利用EUV两重暴光和/或暴光成形(pattern shaping)手艺来赞助，岂但会大大增添本钱，还会下降良品率。

是以，更高的NA成为必需，新一代EXE:5000就能够做到0.55 NA，光刻分辩率也将削减到8nm。

EXE:5000有点像是尝试平台，供芯片制作厂进修若何利用高NA EUV手艺，而估量2025年发货的下一代EXE:5200，能力撑持大范围量产。

ASML本年发货第一台高NA EUV光刻机：本钱迫近30亿元！

Intel最后打算在其18A(1.8nm)工艺节点利用ASML的高NA EUV光刻机，2025年量产，但厥后提早到了2024年下半年，等不迭ASML的新机械。

因而，Intel就改用0.33 NA NXE:3600D/3800E，叠加两重暴光来完成18A工艺，同时利用利用资料的Endura Sculpta的暴光成形体系来尽能够削减两重暴光的利用。

虽然如斯，Intel仍然会是高NA EUV光刻机的第一家客户，能够会在18A节点的前期引入它。

台积电、三星都打算在2025年晚些时辰投产2nm工艺，也许也会用上高NA EUV光刻机。

至于这类进步前辈光刻机的价钱，不官方数据，差别报告估量在单台本钱就要3-4亿美圆，相称于国民币22-29亿元。

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